氟化鈣（CaF₂）晶體具有透射波長范圍寬、色散效應低、抗激光損傷能力強，是紫外光刻、高分辨空間相機、高精密光學檢測設備等高端儀器裝備的核心元件。然而，其開放型立方結構導致八面體空隙格位一半處于空置狀態，位錯密度達10⁵/cm²，嚴重影響性能。因此，精準識別、解析并控制晶體中的位錯缺陷，是實現CaF₂晶體近理論極限性能、滿足極端應用需求的關鍵突破點。

由于F^-離子對電子束敏感，CaF₂晶體位錯的原子級表征一直面臨巨大挑戰，傳統表征技術難以解析其位錯構型，也無法明確位錯的形成機制。對此，中國科學院上海硅酸鹽研究所功能晶體與器件全國重點實驗室蘇良碧研究員團隊聯合無機材料分析測試中心曾毅研究員團隊，針對CaF₂晶體位錯原子級表征的技術瓶頸，創新性構建了"化學腐蝕法-高分辨電子背散射衍射技術(HR-EBSD) -積分差分相位襯度掃描透射電子顯微技術(iDPC-STEM)技術"多尺度聯用表征體系。通過開發基于菊池線旋轉補償算法的高分辨EBSD技術，突破了傳統EBSD精度不足的瓶頸。結合化學腐蝕法，成功實現了晶體中"自由分布"與"規則聚集"兩類位錯的精準定位與微小取向差表征（如圖1所示）。進一步采用超低劑量iDPC-STEM技術，首次在原子尺度直接解析了F/Ca原子排列，清晰捕獲位錯真實構型（如圖2所示）。該技術體系突破了傳統表征的局限，實現了從宏觀到原子尺度的完整位錯解析，為揭示CaF₂晶體位錯形成機制提供了關鍵實驗證據。

結合晶體生長實驗、第一性原理計算和結構表征，揭示了CaF₂晶體中位錯的形成機制，發現過大的溫度梯度導致晶格錯配促進位錯形成。此外，還從原子尺度闡明了空位擇優聚集與弗蘭克不全位錯成核的因果關系（如圖3所示）。在此基礎上，提出了抑制/減少位錯缺陷的策略，并通過熱處理實驗驗證了“位錯自我調節”的可能性，將CaF₂晶體位錯密度從10⁵cm^-2降低至10³cm^-2量級，為實現低缺陷、甚至“近乎完美”的CaF₂晶體提供了現實路徑。

這一研究成果不僅解決了長期以來CaF₂晶體缺陷難以實現“原子級解析”的科學難題，更建立了從宏觀到介觀再到原子級缺陷的完整認知鏈條，為近理論極限性能晶體制備提供了關鍵科學依據。相關成果以“Revealing the atomic-scale structures of dislocations in calcium fluoride single crystal”為題發表于The Innovation Materials期刊（https://doi.org/10.59717/j.xinn-mater.2025.100129）。上海硅酸鹽所2022級碩士研究生李森旸為第一作者，蘇良碧研究員和張博副研究員為共同通訊作者。

該研究得到了中國科學院穩定支持基礎研究領域青年團隊項目和國家重點研發計劃的資助。

圖1 CaF₂晶體中位錯的形態、分布和取向差分析

圖2 CaF₂晶體中位錯的原子尺度結構與缺陷構型

圖3 位錯核心結構與氟空位演化的超胞建模分析